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Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics
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期刊ISSN
2166-2746
E-ISSN
2166-2754
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出版信息
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| 出版商 | AVS Science and Technology Society |
| 涉及的研究方向 | Materials Science-Materials Chemistry |
| 是否OA | 否 |
| SCI期刊收录coverage | Scopus (CiteScore) |
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