宗明成_中国科学院微电子研究所研究员

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400-607-9388

宗明成
所属院校: 中国科学院微电子研究所
所属院系:
职称: 研究员
导师类型:
招生专业:
研究领域: 先进光刻技术、光学工程、精密检测技术科研项目（1）EUVL技术体系与研发方案研究,主持,国家级,2012-01--2018-12 （2）浸没光刻机系统需求与技术指标分析和评估,主持,国家级,2012-01--2014-12 （3）投影曝光检测系统关键部件分析及试验研究,参与,国家级,2013-01--2018-12 （4）光刻精密对焦技术研究,主持,国家级,2017-01--2020-12 专利成果（1）一种垂向调整装置,发明,2017,第1作者,专利号:20141071...

个人简介

教育背景 1989年毕业于清华大学物理系，获理学（光学）博士学位 1986年毕业于东南大学电子工程系，获工学硕士学位 1983年毕业于东南大学电子工程系，获工学学士学位工作简历 2011.04–至今：中国科学院微电子研究所副总工、研究员、博士生导师，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”总体组特聘专家。 2009.05–2011.03：荷兰皇家飞利浦照明研发中心(中国)总监。 2000.01–2009.05：荷兰ASML光刻机公司研发经理、高级工程师。 1999.02–1999.12：荷兰国家原子分子研究所（AMOLF）研究员。 1998.02–1999.01：荷兰代尔夫特（Delft）技术大学研究员。 1990.01–1998.01：北京交通大学教授，系主任等。