解婧_中国科学院微电子研究所副研究员

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400-607-9388

解婧
所属院校: 中国科学院微电子研究所
所属院系:
职称: 副研究员
导师类型:
招生专业:
研究领域: 长期从事微纳材料、结构、及相关设备的研究工作。曾研制开发了Q值接近2.5万的射频MEMS点阻滤波器；作为02专项子课题“原子层薄膜沉积系统”课题执行组长，开发了国内首套8英寸ALD样机及相应的全套薄膜沉积工艺；并于此开展开放型合作，实现了专利成果转让、企业新产品开发及销售；作为国家重大科研仪器研制项目的首席设计师，开发亚10纳米结构原位制备、实时分析研究的大型UHV多系统集成装备，为下一代高性能器件研究提供技术支撑。已在相关领域国际期刊会议发表文章10余篇，授权发明专利20余项

个人简介

教育背景 2002.9-2006.7：清华大学，电子工程，学士 2006.9-2011.7：中国科学院半导体研究所，微电子学与固体电子学，博士工作简历 2011.7-2014.12，中国科学院微电子研究所，助理研究员 2014.12-至今，中国科学院微电子研究所，副研究员 2015.9-至今，中国科学院大学，岗位教授