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1985、1987、1990年分别于华中科技大学获工学学士、硕士、博士学位。1990-1992在清华大学博士后,1992年获国务院学位委员会、教育部授予的“做出突出贡献的中国博士学位获得者”称号,1994年教授,1999年教育部长江学者奖励计划特聘教授、享受国务院特殊津贴。现任清华大学副校长、未来芯片北京高精尖中心主任。兼任教育部科技委国防学部主任、国务院学位委员会仪器学科评议组召集人、中国微米纳米技术学会理事长、中国机械工程学会副理事长、中国仪器仪表学会副理事长等。
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