个人简介

招生方向 先进干涉测量技术与仪器 高端光刻机像质检测技术与装置 教育背景 2001-09--2006-01 天津大学 博士学位 1997-09--2001-06 天津大学 学士学位 工作简历 2016-08~现在, 中科院上海光学精密机械研究所, 研究员 2008-06~现在, 中科院上海光机所, 副研究员 2006-03~2008-05,中科院上海光机所, 博士后 2001-09~2006-01,天津大学, 博士学位 1997-09~2001-06,天津大学, 学士学位 专利成果 （ 1 ） 点衍射干涉波像差测量仪及检测方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310126148.5 （ 2 ） 一种投影物镜波像差在线检测干涉仪, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201420482544.1 （ 3 ） 光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201310261140.X （ 4 ） 光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410406641.7 （ 5 ） 波像差测量模块的畸变测量装置和畸变校正方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410582052.4 （ 6 ） 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510237227.2 （ 7 ） 波前传感器及波前测量方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510398987.1 （ 8 ） 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510325941.7 （ 9 ） 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: PCT/CN2015/088310 （ 10 ） 光学元件旋转定位夹具及旋转定位方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201110391297.5 （ 11 ） 平面光学元件面形的检测方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201210289617.0 （ 12 ） 用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置与方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410422479.8 （ 13 ） 一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510173537.2 （ 14 ） 采用多探测器的光场光强分布测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710142748.9 （ 15 ） 点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710155972.1 （ 16 ） 偏振同步相移干涉仪, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710312393.3 （ 17 ） 光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710155971.7 （ 18 ） 精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711098310.1 （ 19 ） 锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711099311.8 （ 20 ） 平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710143097.5 （ 21 ） 基于改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810247425 （ 22 ） Device for measuring point diffraction interferometric wavefront aberration and method for detecting wave aberration, 2015, 第 1 作者, 专利号: US14/986593 （ 23 ） 基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410360070.8 （ 24 ） 透射波前检测干涉仪, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810804999.3 （ 25 ） 横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910450984.6 （ 26 ） 双侧多重平面倾斜波面干涉仪及其检测方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202010054305.6 （ 27 ） 对光强波动不敏感的投影物镜波像差检测装置与检测方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202010000986.8 （ 28 ） 横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及标定方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910948566.X （ 29 ） 光栅剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910948565.5 （ 30 ） 投影物镜波像差检测装置及检测方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910664574.1 （ 31 ） 斐索干涉仪回程误差的消除方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910660685.5 （ 32 ） 大口径锥镜面形检测系统及检测方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810187098.4 （ 33 ） 基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810180567.X （ 34 ） 锥形镜柱面镜面形的测量装置及测量方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810140014.1 （ 35 ） 一种锥形镜锥角的检测装置和方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810078326.4 （ 36 ） 光学成像系统倍率与畸变高精度测量装置及测量方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201711310720.8 （ 37 ） 光栅剪切干涉光学成像系统波像差检测方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910183243.6 （ 38 ） 基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910183242.1 科研项目 （ 1 ） 极紫外光刻投影物镜波像差检测技术研究, 参与, 国家级, 2009-01--2011-12 （ 2 ） 非常规光学零部件检测装置与镀膜工艺研发, 参与, 国家级, 2011-01--2013-10 （ 3 ） EUV光刻投影物镜波像差检测装置研发, 参与, 国家级, 2012-01--2016-12 （ 4 ） 高精度成像系统综合像质检测方法与实验研究, 主持, 研究所（学校）, 2016-06--2018-06 （ 5 ） 青年创新促进会, 主持, 部委级, 2014-01--2017-12 （ 6 ） 浸没光刻机多通道像质检测技术研究, 参与, 国家级, 2017-01--2020-12 （ 7 ） 激光干涉系统研制项目, 主持, 院级, 2019-01--2020-06 （ 8 ） 投影物镜像质参数检测系统研制, 主持, 院级, 2020-05--2020-12 （ 9 ） 能量探测仪, 主持, 院级, 2020-05--2020-12