蔡燕民_中国科学院上海光学精密机械研究所副研究员

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400-607-9388

蔡燕民
所属院校: 中国科学院上海光学精密机械研究所
所属院系: 信息光学与光电技术实验室（信光）
职称: 副研究员
导师类型: 硕导
招生专业:
研究领域: 专利成果（1）测量光学系统参数的测量装置及其测量方法,发明,2010,第2作者,专利号:CN200810033379.0 （2）傅里叶变换物镜,发明,2013,第1作者,专利号:CN201310259300.7 （3）光刻机照明系统偏振测量用光学系统,发明,2013,第1作者,专利号:CN201310301241.5 （4）共轭距可变的光刻投影物镜、光刻方法,发明,2014,第1作者,专利号:CN201310422537.2 （5）产生一束线偏振光的沃拉斯顿棱镜,发明,20...

个人简介

招生专业 080300-光学工程招生方向光学工程（光学设计与光学工艺）教育背景 1999-04--2002-04中科院上海光学精密机械研究所博士 1996-09--1999-03长春光学精密机械学院硕士 1990-09--1994-06长春光学精密机械学院学士工作简历 2011-11~现在,中科院上海光学精密机械研究所,副研究员 2010-06~2011-10,芯硕半导体有限公司研发中心,项目兼部门经理 2004-04~2010-05,上海微电子装备有限公司,高级工程师 2002-05~2004-03,中科院上海微系统研究所,助理研究员 1994-07~1996-08,东北机器制造总厂,助理工程师奖励信息（1）上海市浦东新区政府浦东新区专利工作优秀个人奖,,省级,2010 （2）上海微电子装备公司（国家光刻设备研发中心）专利成就奖,,研究所（学校）,2010

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