奚斌_中山大学教授

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400-607-9388

奚斌
所属院校: 中山大学
所属院系: 材料科学与工程学院
职称: 教授
导师类型:
招生专业:
研究领域: 原子层沉积(AtomicLayerDeposition)和原子层刻蚀（AtomicLayerEtching）的前驱体、工艺及应用(半导体集成电路等)

个人简介

2017 - 中山大学材料科学与工程学院教授，博导 2013 - 2017 美国默克高性能材料 (EMD Performance Materials) Senior Scientist 2009 - 2013 美国哈佛大学博士后 2005 - 2009 美国普渡大学博士 1999 - 2003 南开大学本科

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