个人简介

毛旭，男，博士，副研究员，硕士生导师。 1996和1999年分别在云南大学物理系获得学士和硕士，2006年获中国电子科技集团电子科学研究院物理电子学专业博士学位，2006年至2009年，北京大学微电子研究院微电子学与固体电子学专业博士后，2009年至今在中国科学院半导体研究所工作。 取得的重要科研成果和获得奖励情况： 长期开展微机电系统器件、生化传感器和晶圆级低温封装方面工作。长期以来一直从事微机械传感器的研制、封装和测试方面研究。参加项目“硅微机械陀螺”成功研制出用于旋转载体的硅微机械陀螺，参加863项目“SOI微机械惯性器件研究”研制出基于SOI材料的高精度微机械加速度计，参加973项目“水环境监测无线网络微传感器芯片系统基础研究”实现谐振器等MEMS器件的圆片级低温气密性键合。“Si基薄膜理论和实验研究”获云南省科学技术奖。申请专利9项，授权专利1项，发表微机械传感器方面的论文40多篇。 在研/完成项目： （1）国家自然科学基金重点项目：集成微流道及其在肿瘤标志物检测中的应用（2013-2015） （2）国家973项目：水环境监测无线网络微传感器芯片系统基础研究（2009-2013） （3）重点项目：16×16元光子衰减调光器阵列集成电路研究（2013-2015） （4）国家重点实验室开放课题：基于微纳谐振子的高灵敏度原位快速生化检测方法研究（20011-2014） （5）国家自然科学基金项目“旋转载体用硅微机械陀螺” （6）863项目“SOI微机械惯性器件研究” （7）项目“硅微机械陀螺” （8）云南省自然科学重点基金项目“Si基多层膜和超晶格性能研究” （9）云南省自然科学重点基金项目“光信息功能材料研究” （10）北京市自然科学基金项目“基于微电子机械系统研究”