李星辉_清华大学讲师

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李星辉
所属院校: 清华大学
所属院系: 深圳国际研究生院
职称: 讲师
导师类型:
招生专业:
研究领域: 从事精密几何量测量、光谱分析和精密运动控制方面的研究，包括光栅干涉测距关键技术研究、全息干涉光刻法光栅加工、平场凹面光栅光谱分析、微小型运动系统开发等。针对高端制造装备精密定位技术的需求，先后研发了六自由度光栅尺和绝对式光栅尺等新型高精度光栅干涉测距系统。针对光栅干涉测距关键元件纳米计量光栅的加工问题，研究了激光相干长度对光栅面积的影响，提出了基于紧凑型半导体激光器的光栅拼接加工技术，降低加工成本的同时，减小了加工系统的占地空间，提出了“三光束-单次曝光”和偏振调制相结合的加...

个人简介

2017年10月至今，清华大学深圳研究生院讲师 2016年12月至2017年9月，清华大学深圳研究生院研究助理 2014年11月至2016年11月，清华大学深圳研究生院博士后 2012年12月至2013年1月，KAIST 访问学者 2011年11月至2012年1月，清华大学访问学者 2011年10月至2014年9月，Tohoku University纳米机械学工学博士 2008年9月至2011年4月，西安交通大学机械电子工程工学硕士 2009年10月至2010年9月，Tokyo Institute of Technology 硕士联合培养 2004年9月至2008年7月，武汉大学机械设计制造及自动化工学学士

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