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- 张卫
- 所属院校: 复旦大学
- 所属院系: 信息科学与工程学院
- 职称: 教授
- 导师类型: 博导
- 招生专业: 微电子学与固体电子学
- 研究领域: 集成电路工艺,半导体材料,薄膜技术
个人简介
科研工作:
1.超大规模集成电路中低介电带数介质与铜的相互作用2.新型材料制备的现代热力学研究3.超大规模集成电路中的低介电常数介质4.金刚石低压气相生长的热力学研究
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