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- 屈新萍
- 所属院校: 复旦大学
- 所属院系: 信息科学与工程学院
- 职称: 教授
- 导师类型: 博导
- 招生专业: 微电子学与固体电子学
- 研究领域: 新型互连技术、新型纳米压印技术及应用和性能研究、纳米尺度薄膜及器件研究
个人简介
科研工作:
1.新型纳米压印技术及开发、先进互连材料和概念研究2.新型铜互连扩散阻挡层研究3.新型互连及其基础问题研究4.原子层淀积新型超薄铜互连扩散阻挡层研究
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