科研工作:
1.新型纳米压印技术及开发、先进互连材料和概念研究2.新型铜互连扩散阻挡层研究3.新型互连及其基础问题研究4.原子层淀积新型超薄铜互连扩散阻挡层研究
张玉宏
硕导
李小彤
曾素琴
翟建波
陈腾云
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