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科研工作:
国家02专项,光刻机等精密光学系统波前、波像差检测控制方法与系统,经费800万(中科院光电所合作);科学院育成项目,南理工紫金特聘教授启动项目(部分),矢量模式化非直观超显微和超分辨系统及其在环境监测、生物医药、新材料、微纳器件及精密光学系统中的应用,经费250万;南理工紫金特聘教授启动项目(部分),模式化共聚焦多光子显微方法与系统,经费200万;国家自然科学基金项目,先腾科技公司联合实验室项目,南理工紫金特聘教授启动项目(部分),亚纳米精度剪切干涉相移型模式化干涉超显微方法与光学测量系统及其在极大规模集成电路生产在线原位检测中的应用,经费500万;科学院仪器项目,南理工紫金特聘教授启动项目(部分),光学集成型光波参数模式化扫描传感面阵及其成像与分析测量方法,550万(中科院纳米所合作);Anchor科技公司联合项目,南理工紫金特聘教授启动项目(部分),亚纳米精度角度与偏振解析型激光背散射光栅与纳米粒子检测方法与系统,300万。Picoopto科技有限公司合作项目,南理工紫金特聘教授启动项目(部分),大气成分光波参数模式化成像分析方法与系统,300万。其它项目仍在申请中。
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