个人简介

个人简介： 2008年获中科院上海光机所光学工程博士学位，2008年-2017年在上海微电子装备有限公司工作，2017年进入复旦大学工研院，作为负责人成功研制“0.15nm测量分辨率的双频激光干涉仪”产品，年产值三千多万元，成功应用于光刻机、超精密位移检测等领域，具有丰富的产品开发及工程经验。发表论文18篇，申请专利24项，授权专利9项，参与编写《光子学技术与应用》（第十五分篇“激光加工技术”）。 代表专利： 1.张志平，吴萍，王珍媛，张晓文，池峰，陈勇辉.双频激光器.申请号：201010619286.3 2.张志平,肖鹏飞,张晓文,池峰,陈勇辉.一种双频激光干涉仪.申请号：200910052180.7 3.张志平,肖鹏飞,张晓文,池峰,陈勇辉.一种检测反射镜入射角的装置.申请号：200920210088.4 4.张志平,程兆谷,高海军,覃兆宇.具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪.申请号:200510027682.6