个人简介

【个人简历】 1997.09-2001.07：太原理工大学 学士； 2001.09-2004.02：东南大学 硕士； 2004.03-2009.06：东南大学 博士； 2014.06-2014.09：比利时鲁汶大学/IMEC 访问学者； 2009.08-2012.03： 东南大学 副研究员； 2012.04-迄今：东南大学 研究员； 2011入选教育部“新世纪优秀人才支持计划”； 2011年“全国优秀博士学位论文提名论文”。 【研究成果】 主持国家重点研发计划项目、国家863计划课题、国家自然科学基金项目、行业龙头企业的重点研发任务等一系列科研项目。在 IEEE Trans.，Appl. Phys. Lett.等期刊上发表 SCI/EI论文 60 余篇，申请PCT国际专利6项，国家发明专利32项，18 项已获得授权，注册MEMSMEMS MEMS材料参数在线测试软件和工艺模拟软件5套，出版 MEMS专著、译著3部，英文专著3章，多项研究成果已经实际推广应用。“高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用”项目获2019年度国家科技进步奖二等奖（第 2完成人）；“高可靠性MEMS压力传感器设计与制造关键技术及应用”项目获2018 年苏省科技进步二等奖（第 2完成人）；“硅基MEMS可制造性设计关键技术及其应用”项目获2013 年教育部技术发明二等奖（第 2完成人）；“微机电系统模型、模拟及应用”项目获2009 年江苏省科技进步二等奖（第 2完成人）。目前担任Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology的Technical Program Committee；全国微机电技术标准化技术委员会委员；《Nanotechnology and Precision Engineering》、《中国测试》等杂志编委。 提出的工艺仿真动态元胞自动机算法及时间补偿方法（IEEE Trans. on CAD，2007）使工艺仿真的稳定性、运算速度和精度大大提高，日本京都大学Osamu Tabata 教授（硅各向异性腐蚀剂TMAH 发明人，曾任16th IEEE MEMS 国际会议主席）课题组评价“动态三维元胞自动机模型是简单且高精度的模型，这种模型引入了时间补偿方法来加速腐蚀模拟”。提出了高精度硅各向异性腐蚀仿真的表面元胞分类方法和表面元胞刻蚀速率的方程描述方法（Journal of Micromechanics and Microengineering，2007）。日本名古屋大学 Kazuo Sato 教授（曾任JMM 亚洲区主编、10th IEEE MEMS 国际会议主席）课题组评价“这种4-指数分类方法使得区分、辨别模拟中遇到的不同表面结构成为可能”。