个人简介

教授，工学博士。 中国计量学会真空计量专委会委员 教育经历
 1992.09-1996.07:合肥工业大学真空技术及设备专业本科 1996.09-1999.05:合肥工业大学流体机械工程（真空）专业硕士 2001.09-2005.06:中国科学技术大学国家同步辐射实验室博士 工作经历 2005.08-2006.08:英国卢瑟福国家实验室访问学者 2005.12-2010.12:合肥工业大学机械与汽车工程学院副教授 2010.12至今合肥工业大学机械与汽车工程学院教授 （2016.09-2017.09:美国密歇根大学安娜堡分校访问学者）开设课程 本科生课程：真空物理，微纳系统及加工；研究生课程：超高真空物理 近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖 主持或完成国家自然基金面上项目、国防基础科研重大项目、科技部863项目等十余项，参加国家重大专项、欧共体、英国EPSRC项目等五项。近年来指导研究生四人次获得“中国真空学会优秀硕士生奖学金”，八人次获得“研究生国家奖学金”。在J.Mater.Chem.、MicroelectEng、J.Vac.Sci.Tech.A&B、Vacuum等国内外著名学术期刊发表论文30余篇，授权发明专利十余项。 •国家自然科学基金面上项目：广域克努增数下纳流控通道型流导元件气体传输多重机理(No.61871172)2019-2022 •国家02专项（极大规模集成电路制造技术及成套工艺）项目：气体高灵敏度检测技术 •国家自然科学基金面上项目：聚合物纳流控通道的溶剂蒸发辅助自封闭机理研究(No.61574053)2016-2019 •国防技术基础科研重大项目：气体微流量测量技术2017-2019 •深空探测专项项目：发射及再入过程中航天器内部压力变化仿真及控制分析2017-2018 •航天CAST基金项目：空间站舱外管道泄漏在轨监测技术研究2017-2018 •电子集团标志性技术项目：漏率测试新方法研究2016-2017 •航天CAST基金项目：特种真空检漏装置内气体分子的空间输运特性研究2016-2017 •863探索导向类项目(No.2008AA04Z303)：基于紫外压印技术的自支撑SU-8胶纳米流体系统2008-2011