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Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS
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期刊ISSN
1932-5150
E-ISSN
1932-5134
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期刊简介
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The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes peer-reviewed papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary to address the needs of the electronics, microelectromechanical systems, micro-optoelectromechanical systems, and photonics industries.
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出版信息
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| 出版商 | SPIE |
| 期刊官网 | http://www.spie.org/publications/journals/journal-of-micro/nanolithography-mems-and-moems |
| 涉及的研究方向 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY |
| 刊期 | Quarterly |
| 出版国家或地区 | UNITED STATES |
| 是否OA | 否 |
| SCI期刊收录coverage | Science Citation Index Expanded (SCIE) Scopus (CiteScore) |
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