李弘恺_北京理工大学副研究员

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400-607-9388

李弘恺
所属院校: 北京理工大学
所属院系: 机械与车辆学院
职称: 副研究员
导师类型: 硕导
招生专业:
研究领域: 专利 1.晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统，ZL201310204691.2，中国. 2.CMP集成控制系统的通讯模块，ZL201310684501.1，中国. 3.基于XML的半导体装备的工艺配方文档处理系统，ZL201310148657.8，中国. 4.晶圆铜膜厚度离线测量模块控制系统，ZL201310204940.8，中国. 5.化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，ZL201310684504.5，中国. 6.化学机械抛光多区压力在线控制算法，ZL2016101395...

个人简介

个人简介 2019至今北京理工大学机械与车辆学院助理教授/特别副研究员 2015-2018 清华大学机械工程系博士后（助理研究员） 2010-2015 清华大学机械工程系博士研究生 2006-2010 北京科技大学自动化本科研究方向：摩擦学，微纳制造，化学机械平坦化在线检测