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- 程洁
- 所属院校: 北京理工大学
- 所属院系: 机械与车辆学院
- 职称: 教授
- 导师类型: 硕导
- 招生专业:
- 研究领域: 超快激光加工；化学机械抛光；摩擦腐蚀；微纳制造研究项目 1.国家自然科学基金青年项目，集成电路亚14nm节点FinFET的化学机械抛光基础研究，2018/01-2020/12，25万元，项目负责人 2.博士后科学基金面上项目，稀土元素掺杂氧化铈磨粒在FinFET化学机械抛光中的应用，2017/11-2019/09，5万元，项目负责人 3.博士后科学基金特别资助，柔性纳米磨粒的制备及在集成电路化学机械抛光中的应用，2018/06-2019/09，15万元，项目负责人
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