严伟_中国科学院光电技术研究所研究员

您当前浏览器版本过低，为了不影响您的使用，建议您使用最新的谷歌浏览器、火狐浏览器、 360浏览器，更换浏览器后使用更流畅！（注意！双核浏览器请切换为极速模式）

400-607-9388

严伟
所属院校: 中国科学院光电技术研究所
所属院系:
职称: 研究员
导师类型: 博导
招生专业:
研究领域: 信息获取与处理

个人简介

简历：严伟：男，1977年2月生，研究员，博士生导师，四川省杰青，西部之光联合学者，中国科学院光电所青年创新人才。2000年至今一直在中国科学院光电技术研究所“微电子装备总体研究室”工作，主要研究集中于微电子装备研制，以及相关微纳光学、光学测量的关键技术研究工作。近5年承担的科研任务包括：作为总师完成国家科技重大专项课题“下一代193nm光子筛聚焦无掩模光刻关键技术”；主持国家自然科学基金面上项目、中国科学院国防科技创新基金项目、四川省杰青基金、西部之光项目、院装备项目等科研任务。获中国半导体行业协会半导体创新产品和技术奖1项、四川省科技进步二等奖和三等奖各1项、中国烟草总公司科学技术发明奖三等奖1项。发表科技论文40余篇（第1作者10篇），发明专利16项，软件版权2项（第一申请人8项，授权发明专利11项）