大面积、高质量宽禁带半导体衬底材料的研究; 2. 电子器件级高质量宽禁带半导体单晶薄膜及掺杂方法的研究; 3. 高温、高效、大功率微波器件及电力电子器件的研究; 4. 基于宽禁带半导体的复合器件和传感器的研究; 5. 新型化学气相沉积(CVD)系统等关键设备的研制; 6. 金刚石MEMS结构与器件; 7. NV量子相干调控。
梁英华
博导
任国浩
邝华
陈俊凌
应民政
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