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  • 谢常青
  • 所属院校: 中国科学院微电子研究所
  • 所属院系:
  • 职称: 研究员
  • 导师类型:
  • 招生专业:
  • 研究领域: 先进的纳米光刻技术研究（包括深紫外激光直写、电子束光刻、X射线光刻、193nm光学光刻等）；纳米尺度深紫外、X射线衍射光学元件的设计、制造、检测及应用研究，近年来主持研究成功十多种5000线/mm、10000线/mm衍射光学元件并获得成功应用
个人简介

个人简介

在2003年和2006年分别获得北京市科学技术进步一等奖

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