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400-607-9388
  • 齐月静
  • 所属院校: 中国科学院微电子研究所
  • 所属院系:
  • 职称: 研究员
  • 导师类型:
  • 招生专业:
  • 研究领域: 光刻技术、精密仪器及光学、光电信息处理
个人简介

个人简介

教育背景: 2002.09-2007.03北京理工大学,精密仪器及机械专业,硕博连读研究生 2007.04-2009.06北京理工大学,兵器发射理论与技术专业,博士后 工作简历: 2009.06-2014.11中科院光电研究院,副研究员 2014.12-2018.10中科院光电研究院,研究员,投影光学研究室副主任 2018.11-至今中科院微电子研究所,研究员,光刻技术总体部副主任

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