个人简介

招生方向 光学设计 光刻机照明系统 精密光电测量技术 教育背景 2004-09--2007-07 长春理工大学 光学工程硕士 2000-09--2002-01 北京理工大学 光学设计进修 1990-09--1994-06 长春光学精密机械学院 工学学士 工作简历 2008-02~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 工作 2004-09~2007-07,长春理工大学, 光学工程硕士 2000-09~2002-01,北京理工大学, 光学设计进修 1994-07~2008-01,国营第二五八厂, 高级工程师 1990-09~1994-06,长春光学精密机械学院, 工学学士 专利成果 （ 1 ） 光学系统定心定位装置及其使用方法, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102538689B （ 2 ） 光刻机设备用离轴照明装置, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103149809B （ 3 ） 光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103217872B （ 4 ） 光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610012510.X （ 5 ） 透镜组镜面间距的测量装置和测量方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610012511.4 （ 6 ） 高精度光学间隔测量装置和测量方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410472652.5 科研项目 （ 1 ） 高NA浸没曝光照明系统关键技术研究, 参与, 国家级, 2009-07--2013-12 （ 2 ） 浸没式曝光光学系统研制与小批量产品生产能力建设, 参与, 国家级, 2016-01--2019-12