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1982年毕业于大连理工大学。1989年作为日本政府国费留学生赴日本留学,就读于日本新泻大学工学院,1992年获硕士学位,1995年获博士学位。1995年至1998年8月留校任助理教授。1998年9月回国,进入上海光学精密机械研究所工作至今,研究员、博士生导师。 作为项目负责人先后承担和完成国家863计划、国家自然科学基金、中科院高技术研究与发展重点项目、上海市科委基础研究重点项目等二十余项国家、中科院、上海市科研项目。带领课题组在高端光刻机技术、纳米精度光学测量技术、生物医学光学成像技术等领域取得多项科研成果,多项成果经国家级测试机构检测并经专家委员会鉴定达到国际先进水平。 申请国际与国内专利170余项(其中发明专利123项),已获专利授权87项(其中发明专利51项),获计算机软件著作权2项。在《Applied Physics Letters》、《Optics Letters》、《Optics Express》、《Applied Optics》、《Journal of the Optical Society of America》等国际学术期刊及《中国科学》、《物理学报》、《光学学报》、《中国激光》、《Chinese Optics Letters》等国内学术期刊上发表论文260余篇。 现任全国政协委员。享受国务院特殊津贴专家。
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