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- 毋正伟
- 所属院校: 中国科学院电子学研究所
- 所属院系:
- 职称: 学生
- 导师类型:
- 招生专业:
- 研究领域: MEMS谐振式微传感器研制及其真空封装技术、MEMS工艺研究和开发
个人简介
个人简介
简历： 2003年毕业于清华大学电子系微电子专业，2006年毕业于中国科学院电子学研究所物理电子学专业，并留所工作至今，期间主要从事谐振式微传感器真空封装技术及关键工艺研究，作为工艺线负责人，主要负责MEMS微加工平台的日常运行管理和MEMS工艺研究
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