李世光_中国科学院大学副研究员

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400-607-9388

李世光
所属院校: 中国科学院大学
所属院系: 微电子学院
职称: 副研究员
导师类型: 硕导
招生专业:
研究领域: 科研项目（1）浸没光刻机系统需求与技术指标分析和评估,参与,国家级,2012-01--2014-12 （2）投影曝光检测系统关键部件分析与试验研究,参与,国家级,2013-01--2016-12 （3）EUVL技术体系与研发方案研究,参与,国家级,2012-01--2016-12 参与会议（1）Measuringsofttissueelasticitybymonitoringsurfaceacousticwavesusingimageplanedigitalhologra...

个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085209-集成电路工程 085208-电子与通信工程招生方向集成电路先导工艺技术新原理装备技术教育背景 2000-09--2005-07清华大学工学博士 1993-09--1996-03哈尔滨工业大学工学硕士 1989-09--1993-07哈尔滨工业大学工学学士工作简历 2011-10~现在,中国科学院微电子研究所,副研究员 2010-03~2011-05,theUniversityofNorthCarolina,USA,Postdoctor 2005-12~2009-11,Singapore-MITAlliance,Singapore,ResearchFellow 1996-04~1998-01,北京空间机电研究所,助理工程师