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经历: 2007年 中国科学技术大学测试计量技术与仪器专业博士学位 2007年-2010年 上海科学院集成电路制造装备研究中心 常务副主任 主持开展400nm无掩模光学光刻机的研制工作 2010-至今 中国科学技术大学先进技术研究院电子技术研发评测中心 主任
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