个人简介

男，1971年生于吉林省长春市。2000年3月毕业于吉林工业大学（现吉林大学），获工学博士学位。1998年3月至1999年4月获日本文部省奖学金赴日本山形大学从事合作研究。2000年6月至2002年4月在上海交通大学电子科学与技术流动站微电子学与固体电子学专业从事博士后研究工作。2002年出站留校工作。 2003年入选上海市高校优秀青年教师后备人选。2008年入选上海市曙光学者和上海市高校优秀青年教师。2009年入选教育部新世纪优秀人才计划。2006年2月至2007年1月公派赴加州理工学院（Caltech）高访从事生物医学微机电系统研究。先后主持国家自然科学基金重点项目、国家重大专项、国家863、上海市科委、总装和美国Honeywell公司的多项科研项目。申请国家发明专利40项，其中授权20项，在国内外期刊发表论文50余篇，参与编译专著3部。2007年获上海市技术发明奖一等奖一项。现为上海交通大学研究员（自然科学类），博士生导师，“薄膜与微细技术”教育部重点实验室副主任，“微米纳米加工技术”国家级重点实验室副主任。