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  • 朱煜
  • 所属院校: 清华大学
  • 所属院系: 机械工程学院
  • 职称: 教授
  • 导师类型: 博导
  • 招生专业:
  • 研究领域: 面向IC制造装备的重大技术需求,围绕纳米级运动精度的生成,在超精密机械系统设计、超精密测量、超精密运动控制等方面,开展系统深入的基础理论与关键技术研究。
个人简介

个人简介

教育背景 1979~1983年,北京师范大学,无线电电子学专业,获理学学士学位 1988~1993年,中国矿业大学,计算机技术与应用专业,获工学硕士学位 1998~2001年,中国矿业大学,机械设计及理论,获工学博士学位 工作履历 2007.12~2012.12/~今:清华大学精仪系制造所/机械系机电所,长聘教授,博导 2004.4~2007.11:清华大学精仪系,副教授 2001.9~2004.3:清华大学制造工程研究所博士后 1999.9~2001.7:清华大学制造工程研究所访问学者 1997.1~2004.3:中国矿业大学副教授 1983.8~1996.12:中国矿业大学讲师

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