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400-607-9388
  • 蒲以康
  • 所属院校: 清华大学
  • 所属院系: 工程物理系
  • 职称: 教授
  • 导师类型:
  • 招生专业:
  • 研究领域: 放电参数调节和控制,半导体芯片加工工艺和设备,等离子体与材料表面相互作用与应用等
个人简介

个人简介

教育背景 1983.9-1988.10 MIT物理系 博士研究生 1989.6 被授予博士学位 论文题目Trapped Electron Modes and Anomalous Electron Thermal Energy Transport;论文导师Bruno Coppi 1982-1983 John Hopkins University物理系 1982.8 参加李政道先生组织的CUSPEA项目赴美学习物理 1978.9-1982.6 中国科学技术大学 无线电与电子学系 本科 工作经历 2002.9-至今 清华大学工程物理系工作,教授,博士生导师。 从事低温等离子体物理、诊断和应用研究。主持的科研项目包括:国家自然科学基金面上项目,国家自然科学基金重点项目,科技部重大专项以及由韩国三星电子和上海中微公司资助的横向项目。 1999.2-2002.8 清华大学电机工程与应用电子技术系工作,教授,博士生导师。 从事低温等离子体物理、诊断和应用研究。并入选校“百人计划” 1994.9-1999.1 北京理工大学应用物理系教授。 从事等离子体在环保技术上的应用研究工作和低温等离子体辅助生长GaN晶膜的工作 1988.10-1994.7 在美国Spire公司从事低温等离子体的应用工作. 曾主持了美国能源部,空军及NASA的多项研究课题,参与了美国陆军,国防部和国家科学基金会的多个项目的研究 教学工作 研究生课程:等离子体物理导论,低温等离子体物理及应用,低温等离子体物理最新进展; 本科生课程:等离子体、激光与电子束,实验室科研探究课,等离子体物理基础,专业基础实验等; 博士后:张姝、朱悉铭,Keisuke Takashima(日本);邓小娣,Jerome Jolibois (法国)。

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