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副教授,硕士导师,95年长春光学精密机械学院本科毕业,04年华南师范大学微电子专业硕士研究生毕业,2007年博士毕业,目前在华师大物电学院任职。在PSST,PST,Vacuum,JCG,JAP,IJMPB等发表论文科技论文30多篇,其中SCI收录10多篇,其中TOP论文(PlasmaSourcesScienceandTechnology)一篇,3区和4区论文多篇。主要成果概括为: 1.Langmuir单、双探针测量ECR等离子体的方法; 2.首次说明受磁场位形影响的ECR等离子体分布特点; 3.首次ECR-PECVD法成功低温制备GaN薄膜; 4.分析点缺陷对GaN稀磁薄膜特性的影响,及探索获得稳定p型ZnO稀磁薄膜的方法, 5.半导体器件的结构特性表征。 目前主持省自然基金一项,参与国家自然基金1项,目前的研究方向为GaN/ZnO稀磁半导体薄膜第一性原理研究。 招生信息 招收微电子学与固体电子学专业研究生;欢迎有志于进行半导体材料特性模拟的本科生就读。 要求:身心健康,性格开朗,有一点点晶体学知识。 承担课程 本科生: 《固体物理》,《近代物理实验》(低温与固体表征部分) 研究生: 微电子专业《等离子体化学工艺》及《半导体光电子学与光电子器件》
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