JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B

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期刊ISSN

1071-1023

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期刊简介

Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.

出版信息
出版商	A V S AMER INST PHYSICS
期刊官网	http://avspublications.org/jvstb/
涉及的研究方向	工程技术-工程：电子与电气
刊期	Bimonthly
年文章数	149
出版国家或地区	UNITED STATES
是否OA	否
SCI期刊收录coverage	Science Citation Index (已不再单独更新，统称SCIE) Science Citation Index Expanded (SCIE)