CMOS毫米波芯片与大规模集成相控阵技术与应用

毫米波以其带宽资源丰富的显著优势，正成为宽带卫星及地面移动通信系统的“黄金”频段。毫米波频段电波传播衰减较大，大规模相控阵技术是扩展其传输距离的主要技术手段，是宽带卫星、5G及未来6G移动通信领域的核心关键技术。传统相控阵大多基于砷化镓工艺的收发组件，其集成度低、价格昂贵，仅适用于军事通信等专用领域，不利于毫米波通信技术全面普及。先进CMOS工艺特征频率已超过300GHz，在理论上完全可适用于毫米波芯片研制，其技术突破将带来行业新变革，把大规模相控阵变成一种小型化、极低成本、便于部署的组件。相比其它工艺，CMOS在集成度、成品率和成本方面优势巨大，但输出功率较低、器件寄生效应较大。